2.3.1 Das Entfernen von Zellen

Der Algorithmus für das Fortschreiten der Ätzfront kann folgendermaßen formuliert werden:

[1]

Berechne für jede Oberflächenzelle die Zeit, die benötigt wird, um diese Zelle zu entfernen (Abbildung 2.26).

[2]

Entferne die Zelle die am schnellsten geätzt wurde, und korrigiere die Ätzzeiten der verbleibenden Oberflächenzellen.

[3]

Entferne jene Zellen, die vollständig geätzt wurden.

[4]

Gehe zu [1], solange nicht die vorgegebene Ätzzeit erreicht wurde.