Im Falle von Phosphor ist im Bereich niedriger bis mittlerer Konzentrationen die
Berücksichtigung von Phosphor-Interstitial-Paaren ausreichend. Bei hohen Konzentrationen tritt
aufgrund der beschränkten Anzahl an Gitterplätzen und des großen Wirkungsradius der
Vacancy-Mechanismus in den Vordergrund (siehe Kap. 2.2.4). Nachdem für die
Ionisationsreaktionen der verschiedenen Partikeltypen Gleichgewicht angenommen werden kann,
bleiben folgende Reaktionen zu berücksichtigen:
Zusätzlich muß zur korrekten Beschreibung des Interstitial-Verhaltens auch noch die Präzipitation entsprechend Kap. 3.2.3 berücksichtigt werden. Die substitutionellen Phosphoratome und die Interstitial-Präzipitate werden als unbeweglich betrachtet, die verbleibenden freien Interstitials, Vacancies und die PI-Paare unterliegen der Diffusion.