Unter vielen Prozeßbedingungen sind die Reaktionsgleichgewichte zwischen den einzelnen Partikeltypen empfindlich gestört. Dadurch verlieren einfache Diffusionsmodelle wie in Kap. 3.1 ihre Gültigkeit. Um die durch die starken Störungen der Reaktionsgleichgewichte möglichen Effekte nachbilden zu können, müssen zusätzliche Gleichungen für die unterschiedlichen Partikeltypen gelöst werden.