Die physikalische Modellierung von Diffusionsvorgängen wirft viele Probleme auf. Einerseits ist die experimentelle Möglichkeit zur Verifikation eines Modelles nur durch eindimensionale Meßmethoden möglich. Andererseits besteht bis dato nur ein teilweises Verständnis der physikalischen Zusammenhänge. Zudem erschwert die relativ große Anzahl an verschiedenen Partikeltypen die konkrete Zuordnung einer phänomenologischen Auswirkung zu einer physikalischen Ursache.
Es existieren daher viele verschiedene Ansätze. Jedes dieser Modelle hat einen gewissen Gültigkeitsbereich, der davon abhängt, welche physikalischen Effekte mit dem betrachteten Modell beschrieben werden. Naturgemäß ergibt sich daraus eine gewisse Hierarchie in den Modellen, welche sich auch in dem zur numerischen Lösung notwendigen Aufwand widerspiegelt.
Das Spektrum dieser Modelle reicht vom äußerst einfachen Modell für genau eine Dopandenart über Modelle, die die Kopplung mehrerer Spezien durch das elektrostatische Feld beinhalten, bis hin zu komplexen Paardiffusionsmodellen. Jedes dieser Modelle hat seine Berechtigung in seinem Anwendungsbereich. Es bleibt jedoch dem Anwender überlassen, das jeweils passende Modell auszuwählen.
Im folgenden werden die im Zuge der vorliegenden Arbeit verwirklichten Modelle vorgestellt.