Im Bereich der Halbleitertechnologie-CAD-Systeme wird außer in VISTA auch noch von Intel in [Mar93] mit SCHEME eine LISP-basierende Erweiterungssprache verwendet.
In SATURN [Jac90] [Jac93] von Siemens und teilweise in MECCA [Llo88] [Llo90] [Llo93] von AT& wird UNIX Shell [Koc85] als Kommando- und Erweiterungssprache verwendet. Für diese Wahl spricht die Vertrautheit der potentiellen Anwender mit der UNIX Kommandosprache und die rasche Implementierung der Grundfunktionalität, speziell der Prozeß- und Dateiverwaltung und der Simulatoransteuerung. Für komplexere Programmieraufgaben ist aber die UNIX Shell u.a. wegen fehlender Kontrollkonstrukte, Beeinflussung der Variablensichtbarkeit und Datenrückgabe von Subprozessen ungeeignet. Nachteilig ist auch die Einschränkung auf UNIX-Plattformen.
Eine weitere in TCAD-Systemen verwendete Kommando- und Erweiterungssprache ist Tcl [Ous90]. Diese wird in PROSE [Won92] [Neu93] und PREDITOR [Wal91a] [Wal91b] [Wal93a] [Wal93b] sowie eingeschränkt auf die graphische Benutzeroberfläche WIZARD [Kne93] für TCAD-Werkzeuge bei IBM eingesetzt. Tcl wurde von John K. Ousterhout an der University of California at Berkeley entwickelt und stellt syntaktisch gesehen eine Mischung aus UNIX Shell, C und LISP dar. Tcl ist eine einbettbare (,,embeddable``) interpretierte Kommandosprache. Der Interpreter in Form einer Objektbibliothek wird zu den Objektdateien eines Simulationswerkzeuges dazugeladen, um es mit der Kommandoschnittstelle zu versehen. In Kombination mit Tk [Ous91], der Anbindung von Tcl an das X Window System [Sch88], steht eine konsistente Lösung für die Steuerungsebene und graphische Benutzeroberfläche eines TCAD-Systems zur Verfügung.