Abbildung: Variation der Spacer-Länge:
Maximaler Substratstrom 
bei 
über der
Spacer-Länge 
.
Abbildung: Variation der Spacer-Länge:
Maximaler Drainstrom 
bei 
über der
Spacer-Länge .
Die Variation der Spacer-Länge zwischen 
und 
in Abb. 6.2 (semilogarithmische Darstellung) zeigt eine
starke Abnahme der Substratstroms mit größerer Spacer-Länge.
Der maximale Drainstrom sinkt aufgrund des steigenden Serienwiderstandes
der niedrig dotierten Drain-Zone mit größerer Spacer-Länge
ebenfalls (vgl. Abb. 6.3), aber nur sublinear.
Die notwendige Genauigkeit und Reproduzierbarkeit
in der Fertigung des Spacers begrenzt die maximale Spacer-Länge in
diesem Prozeß mit etwa 
[Bau93b].
Aus diesen Überlegungen wird als nominale Spacer-Länge
gewählt.