Abbildung: Variation der LDD-Implantationsenergie:
Maximaler Substratstrom 
bei 
über der
LDD-Implantationsenergie.
Die Variation der LDD-Implantationsenergie zwischen 
und 
in Abb. 6.4 bewirkt eine monotone Abnahme des Substratstroms.
In vergleichbaren Prozessen wird die LDD-Implantation mit etwa 
bis
durchgeführt. Daher ist es bemerkenswert, daß, wie die
Simulation zeigt, bei einer Implantationsenergie von
der Substratstrom auf ein Drittel absinkt.
Die Drainstrom-Treiberfähigkeit wird von der Variation der
LDD-Implantationsenergie nur geringfügig beeinflußt (vgl.
Abb. 6.5).
Das in der Serienfertigung zur Verfügung stehende
Ionenimplantationsgerät des industriellen Partners weist eine
Obergrenze der Ionenbeschleunigungsspannung von 
auf. Demgemäß
wird die LDD-Implantationsenergie mit 
festgelegt.
Abbildung: Variation der LDD-Implantationsenergie: Maximaler
Drainstrom 
bei 
über
der LDD-Implantationsenergie.