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Unterabschnitte
Für den stationären Fall mit linearer Dielektrizitätszahl ist das
Verhältnis von Ladung und Spannung zweier voneinander isolierter
Leiter konstant und wird als Kapazität bezeichnet
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(2.11) |
Da die Leiter im Inneren feldfrei sind, ist das Potenzial dort konstant und die
Ladung ist ausschließlich auf der Oberfläche der Leiter verteilt.
Die Ladungsverteilung ergibt sich aus der elektrischen Flussdichte
gemäß der dritten Maxwell'schen Gleichung (2.3).
Betrachtet man einen die Oberfläche eines Leiters umgebenden Bereich mit der
Dicke und lässt gegen Null gehen, so erhält man die
Flächenladungsdichte als Differenz der Normalkomponenten von
außerhalb (
) und innerhalb (
) des Leiters
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(2.12) |
wobei der Vektor
normal auf die Leiteroberfläche steht und in
Richtung Dielektrikum zeigt.
Mittels Ladungsintegration über die
Leiteroberfläche
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(2.13) |
kann man die gesamte auf einem Leiter gespeicherte Ladung berechnen.
Über (2.11) lässt sich daraus
die Kapazität zwischen zwei Leitern ermitteln.2.1
Als Alternative zur Ladungsintegration kann die Kapazität auch mit der
Energiemethode ermittelt werden.
Die in einem Kondensator gespeicherte Energie lässt sich durch
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(2.14) |
ausdrücken, die natürlich gleich der im elektrischen Feld enthaltenen
Energie
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(2.15) |
sein muss.
Der Integrationsbereich erstreckt sich über das gesamte Dielektrikum
zwischen den Leitern und geht theoretisch bis ins Unendliche.
Das elektrische Feld ladungsbalancierter Leiter klingt für Entfernungen,
die groß sind gegenüber dem Durchmesser des Gebietes,
das die Ladungen enthält, mit der dritten Potenz des mittleren Abstands ab.
Deshalb ist der größte
Teil der Feldenergie in der nächsten Umgebung der Leiter enthalten und
der Integrationsbereich kann für praktische Anwendungen entsprechend
verkleinert werden, ohne einen großen Fehler bei der Energieberechnung
zu machen.
In Abb. 2.1 ist grafisch dargestellt wie der Fehler der berechneten
Kapazität in einem zweidimensionalen Beispiel von der Größe des
Simulationsbereiches abhängig ist.
Abbildung 2.1:
Auswirkung der Größe des
Simulationsbereiches auf den Fehler der berechneten Kapazität
in einem zweidimensionalen Beispiel
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Abbildung 2.2 vergleicht den zwei- und den dreidimensionalen Fall.
Das dreidimensionale Beispiel ist im Querschnitt mit dem zweidimensionalen
ident,
und die Länge des Leiters entspricht seiner Breite.
Man erkennt, dass im zweidimensionalen Fall der Fehler der berechneten
Kapazität quadratisch gegen Null geht,
während im dreidimensionalen Fall eine Konvergenz mit der dritten Potenz
von beobachtbar ist.
Abbildung 2.2:
Vergleich der relativen Fehler, die durch
die Einschränkung des Simulationsbereiches entstehen, im zwei- und
im dreidimensionalen Fall:
Man erkennt, dass im zweidimensionalen Fall der Fehler quadratisch und
im dreidimensionalen Fall der Fehler mit der dritten Potenz gegen Null geht.
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Sowohl die Energiemethode als auch das Verfahren der Ladungsintegration
erfordern die numerische Berechnung des elektrischen Feldes.
Anzumerken ist, dass bei der Ladungsintegration die Berechnung des Feldes
auf der Leiteroberfläche ausreichend ist.
Setzt man (2.10) in (2.3) ein und berücksichtigt, dass in den
Isolatoren keine elektrischen Ladungen vorhanden sind () erhält man
die Euler-Gleichung
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(2.16) |
Das Gebiet , auf dem Gleichung (2.16) gelöst werden soll wird
durch mehrere Flächen berandet (Abb. 2.3).
Abbildung 2.3:
Simulationsbereich und Ränder
bei der Berechnung des elektrischen Feldes:
Die beiden Elektroden und liegen auf konstanten
Potenzialen ( bzw. ) und bilden somit
Dirichlet-Bedingungen.
Der äußere Rand (punktierte Linie) wird durch eine homogene
Neumann-Bedingung modelliert.
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Die konstanten Potenziale der Leiteroberflächen stellen
Dirichlet-Bedingungen dar
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(2.17) |
wobei mit die Oberfläche des Leiters bezeichnet wird.
Wenn man für die numerische Berechnung das Simulationsgebiet nach außen hin
begrenzt, benötigt man auch für eine Randbedingung, die
man sinnvollerweise so wählt, dass die Oberfläche ladungsfrei bleibt,
also
gilt, oder durch das Potenzial ausgedrückt:
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(2.18) |
Diese Art von Randbedingung wird homogene Neumann-Bedingung genannt.
Oberflächen, auf denen eine fixe elektrische Flächenladungsdichte
eingeprägt ist, lassen
sich durch allgemeine Neumann-Bedingungen darstellen:
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(2.19) |
Eine spezielle Art von Randbedingung wird für den Fall benötigt, wenn
sich im Dielektrikum zwischen den beiden Leitern, deren Kapazität berechnet
werden soll, ein weiterer leitender Körper befindet, der nicht mittels
einer Dirichlet-Bedingung auf ein fixes Potenzial gelegt werden soll.
Da hier wie in jedem Leiter
gilt, muss zwar das Potenzial auf der
gesamten Oberfläche des Leiters
gleich groß sein, es wird aber
mit einem noch unbekannten Wert
angenommen:
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(2.20) |
Da dieser Leiter über keine elektrischen Anschlüsse verfügt, können
Ladungen auf der Oberfläche rein durch Influenz entstehen und müssen
in Summe Null ergeben:
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(2.21) |
Dieser Typ von Randbedingung wird schwebende Randbedingung
(Floating Boundary) genannt.
Bisher wurden zur Kapazitätsberechnung immer nur Zweileitersysteme
herangezogen.
Geht man jedoch von Leitern aus, so kann man von jedem Leiter
zu jedem anderen eine Kapazität definieren, man erhält also insgesamt
Teilkapazitäten (siehe Beispiel in Abb. 2.4).
Abbildung 2.4:
Zehn Teilkapazitäten in einem
5-Leiter Problem
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Für eine bestimmte Konfiguration von Potenzialen auf den einzelnen Leitern
(, , ...) kann man die Gesamtenergie als Summe der
einzelnen Energien in den
Teilkapazitäten anschreiben:
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(2.22) |
Man erhält also eine Gleichung mit
Unbekannten.
Da für eine Lösung
Gleichungen benötigt werden, berechnet
man die Gesamtenergie für
verschiedene
Potenzialkonfigurationen der Leiter.
Aus dem entstandenem linearen System lassen sich dann die Teilkapazitäten
bestimmen.
Fußnoten
- ... ermitteln.2.1
- Ein
ladungsbalanciertes System sei vorausgesetzt.
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R. Sabelka: Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen auf Integrierten Schaltungen