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Die einfachste Methode eine verteilte Größe darzustellen ist auf der
Oberfläche der Geometrie.
Dabei können zuvor bestimmte Teile der Geometrie (z.B.das umgebende
SiO) entfernt werden um Strukturen im Inneren sichtbar
zu machen.
Zu diesem Zweck muss aus dem Gitter mit Volumselementen (Tetraedern) die
Oberfläche in einer polygonalen Darstellung gewonnen werden.
Dies wird erreicht, indem man jeden Tetraeder in seine Oberflächendreiecke
zerlegt und diese in einer Liste abspeichert.
Kommt in dieser Liste ein Dreieck doppelt vor, so handelt es sich um ein
inneres (und deshalb unsichtbares) Dreieck und es kann somit entfernt werden.
Ein Beispiel ist in Abb. 6.1 gegeben.
Abbildung 6.1:
Das elektrische Potenzial (in mV) ist auf der Oberfläche eines
Leiters als Helligkeitswert (Grauskala) dargestellt.
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Hier ist das elektrische Potenzial
auf der Oberfläche eines Leiters als Helligkeitswert
dargestellt.
Die Skala am rechten Rand bildet die Zuordnung zwischen Graustufe und
Potenzialwert (in mV).
Bei dieser Art der Darstellung ist es wichtig, dass auch die Kanten der
Geometrie eingezeichnet sind, da sonst die geometrische Struktur nicht gut
erkennbar wäre.
Abbildung 6.2 zeigt die gleiche Struktur mit dem Unterschied, dass
anstelle der Helligkeit der Farbwert benutzt wird, um das
Potenzial an der Oberfläche darzustellen.
Man erreicht dadurch eine bessere Erkennbarkeit, da Farben im Allgemeinen
leichter unterschieden werden können als Grauwerte.
Abbildung 6.2:
Oberflächendarstellung des Potenzials (in mV) mit Farbskala.
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Zwei Variationen der Oberflächendarstellung mit Farbskala
sind in Abb. 6.3 (a) und (b) dargestellt.
Abbildung 6.3:
Darstellung des elektrischen Potenzials auf der Oberfläche
eines Leiters mit Schattierung (a) und abgestuftem
Farbverlauf (b).
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Da die Farbe und Helligkeit eines Punktes voneinander unabhängige Größen
sind, kann man mittels Schattierung die geometrische Struktur hervorheben.
Dazu nimmt man eine Lichtquelle in der Nähe des Betrachters an und berechnet
die Helligkeit eines jeden Punktes abhängig von dem zwischen
Oberflächennormale und Richtung zur Lichtquelle eingeschlossenem
Winkel (Abb. 6.3a).
Hierbei ist anzumerken, dass Schattierung und Grauskala sich nicht
miteinander vereinbaren lassen, da durch die Schattierung die Grauwerte
verfälscht würden.
Wenn man anstatt eines kontinuierlichen Farbverlaufes die Anzahl
der Farben auf einen endlichen Wert beschränkt (16 in Abb. 6.3b),
geht dabei zwar Information verloren, aber es werden dadurch
Isolinien (Linien gleichen Potenzials) erkennbar, die sich aus den
Farbstufen ergeben.
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R. Sabelka: Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen auf Integrierten Schaltungen