Eine Isofläche ist die Menge aller Punkte, auf denen die darzustellende Größe einem festgelegten Wert entspricht. Üblicherweise werden mehrere Isoflächen gleichzeitig angezeigt, die den Wertebereich in äquidistante Intervalle teilen. Die Flächennormale zeigt immer in Richtung des Gradienten und der Abstand zwischen zwei benachbarten Isoflächen ist verkehrt proportional zum Betrag des Gradienten.
Die Berechnung der Isoflächen kann für jedes Gitterelement getrennt ausgeführt werden. Bei Tetraedern mit linearem Ansatz entsteht dabei jeweils ein Drei- oder ein Viereck. Die Isoflächen von Tetraedern mit quadratischem Ansatz können auch ellipsoid-, hyperboloid- oder paraboloidförmig sein und müssen deshalb durch ein oder mehrere ebene Polygone angenähert werden.
Als Beispiel ist in Abb. 6.4 das Potenzial im Substrat unter einem Kontakt mittels Isoflächen dargestellt. Die Farbe der Flächen bezieht sich dabei auf den Wert des Potenzials. Da innere Isoflächen in manchen Fällen ganz oder teilweise durch äußere verdeckt werden ist es oft notwendig durch Wegschneiden von Geometrieteilen die Sichtbarkeit zu verbessern.
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