DIE sog. safe operating area (SOA) gibt die Betriebsgrenzen eines Bauelements an. In diesem Kapitel werden die safe operating area für den DMOS-Transistor behandelt und einige potentielle sekundäre Durchbruchsmechanismen aufgezeigt. Speziell für Leistungsbauelemente sind maximaler Strom bzw. maximale Spannungen im Zusammenhang mit der benötigten Fläche wesentliche Designparameter.