Ein Nachteil bei der Benutzung des Monte-Carlo Codes für die Simulation der Ionen-Implantation [Hob91b] war bisher das Fehlen einer automatischen Gittererzeugung und Gitteradaption.
Die manuelle Eingabe eines optimalen Gitters für die Monte-Carlo Simulation ist bereits im zweidimensionalen Fall ein schwieriges und manchmal recht zeitaufwendiges Problem. Für dreidimensionale Simulationen ist eine händische Gitterdefinition praktisch nicht mehr möglich, weil für die Gittergenerierung bereits das Endergebnis bekannt sein müßte. Weiters sollte das Rechengitter für den Benutzer nicht zu sehr in Erscheinung treten, weil es mit der physikalischen Modellierung nicht zusammenhängt, sondern nur ein notwendiges Hilfsmittel für die Simulation ist.
Aus obengenannten Gründen wurde eine automatische Gittergenerierung und -adaption entwickelt. Dabei wurde ein, auf die speziellen Anforderungen bei der Monte-Carlo Simulation ausgerichtetes, Anfangsgitter verwendet. Der bei der Gitteradaption angewandte Algorithmus garantiert einerseits eine gute Auflösung des Implantationsprofiles und andererseits ein Gitter, das grob genug ist, um keine Verfälschung des Ergebnisses durch statistische Schwankungen zuzulassen. Spezielles Augenmerk wurde daher darauf gelegt, daß
Bei der Entwicklung der Gitteradaption konnte zwar auf frühere Erfahrungen mit der im Prozeßsimulator PROMIS [Pic85] eingebauten Methode zurückgegriffen werden, jedoch ergeben sich, wie noch später ausgeführt wird, signifikante Unterschiede zu anderen Adaptionsalgorithmen. Die in PROMIS für die Simulation der Diffusion und auch für die analytische Simulation der Ionen-Implantation (siehe auch Kapitel 3) enthaltenen Techniken [Hob90] konnten daher nicht direkt übernommen werden, sondern mußten entsprechend modifiziert werden.
In diesem Kapitel wird zuerst die Anfangsgittergenerierung besprochen, dann werden die Kriterien, die bei der Gitteradaption verwendet werden, dargelegt, und der Adaptionsalgorithmus wird erklärt. Ein Beispiel schließt das Kapitel ab.