Für den Gitteradaptionsalgorithmus werden zwei Maßzahlen verwendet, nämlich das Integral über den Dosisfehler entlang einer Gitterlinie und der maximale Gradient der Konzentration (siehe z.B. [Pic85] oder [Wim91b]). Die Kennzahl, die nach Gl. (4.1) definiert ist, minimiert den lokalen Dosisfehler. Die Maßzahl laut Gl. (4.2) angewandt auf den Logarithmus der Konzentration garantiert eine möglichst gute Auflösung steiler Gradienten im Dotierungsprofil. In den folgenden Gleichungen (Gl. (4.1) - Gl. (4.4)) werden die Maßzahlen immer nur für die -te Gitterline an der Stelle formuliert. Um die entsprechende Gleichung für die -te Gitterlinie an der Stelle zu erhalten, müssen nur und beziehungsweise und miteinander vertauscht werden.
Der Term in Gl. (4.1) und Gl. (4.3) ist der zweite Differenzenquotient der Funktion und wird als Approximation der zweiten partiellen Ableitung verwendet.
Aus den beiden Kennzahlen nach Gl. 4.1 und Gl. 4.2 wird eine gemeinsame, maximale Maßzahl bestimmt, die ein Maß für die Wichtigkeit der -ten Gitterlinie liefert Gl. (4.4).
Danach wird diejenige Gitterlinie mit der minimalen totalen Maßzahl bestimmt, weil diese die am wenigsten wichtige Gitterlinie ist. Dabei muß allerdings Bedacht darauf genommen werden, daß beim Löschen dieser Gitterlinie ein bestimmtes Abstandsverhältnis nach Gl. (4.5) zwischen den Nachbarlinien nicht verletzt wird; nur dann kann diese Gitterlinie wirklich gelöscht werden. Sonst muß nach der Gitterlinie mit dem nächsthöheren Kriterium gesucht werden, bei deren Entfernung Bedingung (4.5) aber nicht verletzt wird.
Man beachte folgenden Unterschied zwischen der Maßzahl für den Gradienten () und die Maßzahl für den Dosisfehler (): In Gl. (4.3) sind die Konzentration auf dem Gitterpunkt gemeint, wohingegen in Gl. (4.2) die Konzentrationen in den Boxen gemeint sind, die an die -te Gitterlinie anschließen.