D I S S E R T A T I O N


Miniaturization Problems in CMOS Technology:
Investigation of Doping Profiles and Reliability


ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften

eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von


Robert Wittmann





Wien, im Jänner 2007