11.4 Erkenntnisse
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Aus den dargestellten Simulationsergebnissen lassen sich folgende
Erkenntnisse gewinnen:
- Eine genaue Berücksichtigung der Elektronentemperatur ist
notwendig, um die Beweglichkeit entlang des Kanals korrekt zu
modellieren. Diese Beweglichkeit ist es, die den HEMT in seinem
eigentlichen Betrieb charakterisiert.
Im Kanal zeigt sich eine ausgeprägt nichtlokale Abhängigkeit
der Elektronentemperatur (und damit der Beweglichkeit) von den
Potentialverhältnissen. Ohne gesonderte Berechnung der
Elektronentemperatur ist daher eine quantitativ korrekte
Beschreibung der Verhältnisse im Kanal nicht möglich.
- Die Übergangsbedingungen an der Heterobarriere sind besonders
in der hochdotierten Drainzone von großer Bedeutung, allerdings
nur für den Sättigungsbereich der Kennlinie. Ob es notwendig
sein wird, thermionische Emission und Tunnelströme in die
Formeln einzubinden, ist nur im Rahmen einer genauen
Untersuchung der Drainzone zu klären, die eine genaue Kenntnis der
Dotierung und der Länge der Drainzone sowie spezielle Meßdaten
voraussetzt.
Im ,,normalen Betriebsfall`` dagegen hat das Emissionsmodell
über die Barriere nur sehr kleinen Einfluß auf die
Simulationsergebnisse und ist daher von untergeordneter
Bedeutung.
- Für Transistoren mit kurzen Gates ist die
Energierelaxationszeit von wesentlicher Bedeutung. Über
ihre Abhängigkeit von der Trägertemperatur und dem
Halbleitermaterial sind noch gesonderte Untersuchungen
notwendig.
- Die Simulation von Heterostrukturen mit verkoppelten
Differentialgleichungen (also ohne Monte-Carlo-Mechanismen und
ohne spezielle Quanteneffekte) ist auch in diesem
Größenbereich der Kanalbreite nicht nur sinnvoll, sondern
ist auch in der Lage, quantitativ korrekte Beschreibungen des
Bauelementverhaltens zu geben, die für die Optimierung der
Bauelementstruktur wertvolle Dienste leisten.
- Eine korrekte und sorgfältige Implementierung der
Übergangsbedingungen ist eine der wichtigsten Voraussetzungen
für die Simulation von Bauelementen mit Heteroübergängen.
Die einzelnen Schichten zeigen in allen Größen (Potential,
Trägerkonzentration und -temperatur) eine so starke
Verkopplung, daß ein Versuch einer Entkopplung nach den
einzelnen Schichten auf größte Schwierigkeiten stoßen würde
und daher von vornherein aufgegeben werden kann.
Martin Stiftinger
Fri Oct 21 18:22:52 MET 1994