2.1 Die Methode der Gewichtsfunktionen



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2.1 Die Methode der Gewichtsfunktionen

 

Zunächst wird das kontinuierliche Problem betrachtet. Die transienten Halbleitergleichungen in ihrer differentiellen Form sind lokale Erhaltungsgesetze für die Elektronen-, Löcher- und die Verschiebungsstromdichte. Durch Volumenintegration über das gesamte Bauelement werden aus den lokalen Erhaltungsgesetzen globale. Sei nun das gesamte Definitionsgebiet und , =, die Oberflächen der ohmschen Kontakte, etwaige Gate-Kontakte eingeschlossen. bezeichnet Ränder des Integrationsgebietes, an denen Neumann-Randbedingungen gelten.
Man definiert nun für jede der Stromdichten (also getrennt für , und ) Funktionen , =, mit der Eigenschaft

   

Im folgenden wird die Gewichtsfunktion des i-ten Kontakts der Elektronen mit , der Löcher mit und des Verschiebungsstromes mit notiert.
Zur Berechnung der Einzelkomponenten des i-ten Kontaktstromes geht man folgendermaßen vor: Die Kontinuitätsgleichungen für Elektronen und Löcher und die zeitdifferenzierte Poissongleichung (die lokalen Erhaltungsgesetze) werden mit der entsprechenden Gewichtsfunktion (, , ) multipliziert, und das Produkt wird über das Halbleitervolumen integriert. Für die zeitdifferenzierte Poissongleichung ist auch über Oxidgebiete zu integrieren. Um die Notation zu vereinfachen, wird aus diesem Grund für jede Teilstromgleichung ein eigenes Integrationsgebiet (, , ) definiert. Nach einem partiellen Integrationsschritt folgt bei Berücksichtigung der homogenen Randbedingungen (2.6) für die Teilströme am Kontakt :

   

Die Teilströme bestehen aus einem Anteil, der mit den Gradienten der Gewichtsfunktionen gewichtet wird (,,vektorieller`` Anteil), und einem Anteil, der mit den Gewichtsfunktionen skalar gewichtet wird (,,skalarer`` Anteil). Der vektorielle Anteil stammt vom elliptischen Differentialoperator, der skalare Anteil von der rechten Seite der Erhaltungsgesetze, also von den Zeitableitungen der Ladungsträgerkonzentrationen und den Generations- und Rekombinationsraten. Die Teilströme werden entsprechend dem Verlauf der einzelnen Gewichtsfunktion und ihrer Gradienten aus diesen beiden Komponenten linear kombiniert. Entartet eine Gewichtsfunktion zu einer Dirac-schen Deltafunktion am Kontakt, so resultiert daraus ein Oberflächenintegral, und der entsprechende skalare Anteil in (2.8)-(2.10) verschwindet.
Sind die Gewichtsfunktionen identisch und die Integrationsgebiete kongruent, also

dann vereinfacht sich die Berechnung des Kontaktstromes zu

 

Für den Gesamtstrom ist unter obigen Voraussetzungen dann nur eine Gewichtsfunktion für jeden Kontakt erforderlich.
Aufgrund von (2.7) gilt für das kontinuierliche Problem

 

d.h. die Summe aller Kontaktströme verschwindet in jedem Zeitpunkt, da in jedem Punkt der Vereinigungsmenge der Integrationsgebiete gilt

d.h. die Gesamtstromdichte ist zu jedem Zeitpunkt divergenzfrei (Erhaltungsgesetz der elektrischen Ladung).
Für eine beliebige Gewichtsfunktion , die die Forderungen (2.5)-(2.7) erfüllt, gilt aufgrund ihrer linearen Abhängigkeit

 

Die Forderung (2.7) kann exakt erfüllt werden, wenn die j-te Gewichtsfunktion mit Hilfe der Formel (2.15) berechnet wird, was zugleich eine Rechenzeitersparnis bringt.
Wendet man den Gradientenoperator auf (2.7) an, so erhält man die Gleichung

 

d.h. die Gradienten der Gewichtsfunktionen sind linear abhängig. Summiert man dementsprechend die vektoriellen Anteile in (2.8)-(2.10) über die Kontakte, so ergibt sich

   

was bedeutet, daß auch die vektoriellen Anteile linear abhängig sind. Ein vektorieller Anteil kann deswegen aus der Summe der verbleibenden vektoriellen Anteile gewonnen werden.
In der diskreten Form gehen die Integrale (2.8)-(2.10) in endliche Summen über. Die Forderungen (2.5)-(2.7) an die einzelnen Gewichtsfunktionen pro Teilstromdichte legen nur die Randbedingungen, nicht jedoch den Verlauf der Gewichtsfunktionen in den Lösungsgebieten fest. Im Kontinuierlichen müssen sie lediglich partielle erste Ableitungen besitzen. Die Wahl des Verlaufs der Gewichtsfunktionen im Inneren des Rechengebietes ist ansonsten frei.



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Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994