2.5.2 SOI-MOSFET



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2.5.2 SOI-MOSFET

Der Siliziumfilm des SOI-MOSFETs hat eine Filmdicke von . Aufgrund dieser dünnen Filmdicke erstreckt sich die Depletionszone unter der Gate-Oberfläche über den gesamten Halbleiterfilm, weswegen das gesamte Siliziummaterial zwischen den beiden Source-Drain -Übergängen an mobilen Ladungsträgern gänzlich verarmt ist. Für alle vier Kontaktpotentiale auf Null Volt fallen die zwei Gewichtsfunktionen dieses Bauelementes nicht in einem kleinen Bereich auf kleine Werte ab, sondern der Übergang vollzieht sich in zwei Schritten (siehe Abbildung 2.8 oben, Drain-Gewichtsfunktion, linearer Maßstab). Für ein invertiertes Frontinterface fällt die Gewichtsfunktion im Halbleiterbereich linear ab (Abbildung 2.8 unten, Drain-Gewichtsfunktion, linearer Maßstab). Ähnlich verlaufen die Gewichtsfunktionen, wenn der Transistor mit , eingeschaltet ist.

  
Abbildung: Drain-Gewichtsfunktionen des SOI-MOSFETs für = (oberes Bild) und = (unteres Bild) in linearer Darstellung.



Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994