2.6.4 CP-Experiment



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2.6.4 CP-Experiment

Bei transienten Simulationen von CP-Experimentengif ist das gewünschte Ergebnis der Simulation die Gleichstromkomponente eines periodischen Stromsignals. Diese Komponente ist einige Größenordnungen kleiner als die Spitzenwerte der überlagerten Wechselströme. Eine Kontaktstrom-Integrationsmethode hoher Genauigkeit ist für diese Analyse Voraussetzung. Nicht zuletzt deshalb wurde den in diesem Kapitel beschriebenen Methoden breiter Raum eingeräumt.
Bei einem CP-Experiment wird eine periodische trapezförmige Spannung an den Gate-Kontakt eines MOS-Transistors angelegt. Bei SOI-Bauelementen kann eine solche Spannung auch an das Backgate angelegt werden. Im folgenden soll jedoch nur der geläufigere Fall des Substrat-MOSFETs betrachtet werden. Alle anderen Kontakte bleiben in Ruhe. An den -Übergängen liegt meist eine kleine Sperrspannung an. Aufgrund des Verzugs in der Umladung der Grenzflächen- bzw. der Volumenstörstellen (CP-Effekt [11]) fließt eine kleine Gleichstromkomponente, die dem sehr kleinen Sperrstrom der -Übergänge entgegengesetzt ist (Energie wird erzeugt). Diese Komponente ist den wesentlich größeren kapazitiven Strömen unterlagert. Während die Größenordnung der Kapazitätsspitzen im Bereich von liegt, ist die Gleichstromkomponente, das CP-Signal, im Bereich von .
Der Umladung der Störstellen erfolgt größtenteils während bzw. kurz nach den Rampen der Trapezspannung. Da die Steig- bzw. Fallzeiten nur einen Bruchteil der Periode der Trapezspannung ausmachen und die transienten Ströme schnell abklingen, ist bei geeigneter Wahl des Anfangspunktes der Trapezspannung das Bauelement am Ende einer Periode in sehr guter Näherung im selben (stationären) Zustand wie am Anfang.

  
Tabelle 2.5: Simulation eines CP-Experimentes. Alle Werte in .

Das System kann als im eingeschwungenen Zustand aufgefaßt werden. Diese Eigenschaft kann bei der numerischen Simulation von CP-Experimenten dahingehend benutzt werden, daß nur eine Periode simuliert zu werden braucht, und die Berücksichtigung etwaiger Einschwingvorgänge entfallen kann. Die Mittelwerte der Kontaktströme über eine Periode der Trapezspannung entsprechen den einzelnen CP-Signalanteilen, insbesondere gilt für die Gleichströme am Substrat-, Source- und Drain-Kontakt:

Der sehr kleine Unterschied kommt von den Sperrströmen der -Übergänge, die jedoch mehrere Größenordnungen kleiner als der CP-Anteil sind. Für den Gate-Strom gilt insbesondere

da das Oxid als ideal isolierend angenommen wird (keine Oxid-Injektionseffekte berücksichtigt). In SOI-Bauelementen gilt dasselbe analog für den durch das vergrabene Oxid isolierten Substratkontakt.
In der Tabelle 2.5 ist das Ergebnis der Simulation eines CP-Experimentes zusammengefaßt, wobei wiederum das Linienintegral, die Methode von Nanz und die neue Methode verglichen werden. Die mit DIS indizierten Zeilen bezeichnen die Mittelwerte der Verschiebungsströme. Im Unterschied zu den vorangegangenen Resultaten wird in der folgenden Darstellung auf eine Trennung der Ströme in skalare und vektorielle Anteile verzichtet. Die vier Spalten enthalten die Summen aus beiden Anteilen für jeden Teilstrom. Es wurden im MOS-Kanal gleichmäßig verteilte Grenzflächenstörstellen der Dichte Dieser Verteilung wurden zusätzlich an der Drain-Kante normalverteilte Störstellen mit einem Maximum von und einer Standardabweichung von überlagert. Beide Störstellenverteilungen wurden akzeptorartig und im verbotenen Band gleichverteilt angenommen. Aufgrund der zusätzlichen Störstellen am Drain ist die CP-Stromkomponente am Drain-Kontakt ca. zehnmal größer als am Source-Kontakt. Weiters ist ersichtlich, daß die CP-Komponenten am Source- und Drain-Kontakt als Elektronenströme, am Substratkontakt jedoch als Löcherstrom fließen. Die Kontaktstrom-Summen für Elektronen und Löcher sind gegengleich, der Wert entspricht exakt dem CP-Signal am Substratkontakt. Das CP-Signal ist somit erwartungsgemäß ein reiner Rekombinationsstrom. Es ist evident, daß das CP-Signal in diesem Fall auch als Gleichanteil der transienten Netto-Rekombinationsrate berechnet werden kann.
Alle drei Methoden liefern ein auf zwei Dezimalstellen identisches Resultat für die CP-Komponenten, der Mittelwert des Gate-Stroms ist ebenfalls sehr klein. Die Summe aller Komponenten ist für die Methode von Nanz und die neue Methode von gleicher Größenordnung, für das Linienintegral wesentlich größer, jedoch von akzeptabler Kleinheit. Dieses Resultat ist insoferne bemerkenswert, als die Stromsumme der einzelnen Zeitschritte selbst um bis zu 6 Zehnerpotenzen größer ist. Eine naheliegende Interpretation dieses Effektes ist, daß die Stromsumme beim Linienintegral um Null statistisch verteilt ist, die kleine Stromsumme der Gleichanteile also durch Mittelwertbildung entsteht. Eine rigorose Untersuchung etwa der Verteilungsfunktion der Zufallsvariable Stromsumme wurde jedoch nicht vorgenommen.


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Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994