Zur Bestimmung der effektiven Gate-Länge wurde das CP-Experiment für Dioden mit verschiedenen geometrischen Gate-Längen bei mehreren Meßfrequenzen simuliert. (Abbildung 4.5 bzw. Abbildung 2 in [76]). Das Source/Drain-Profil ist für alle Dioden identisch. Je nach der geometrischen Gate-Länge ergibt sich als Resultat eine Familie von CP-Signalen, die näherungsweise linear von der geometrischen Kanallänge , die an der x-Achse aufgetragen wird, abhängen. Die x-Achse wird bei der Länge == durchstoßen. Bei dieser geometrischen Gate-Länge ist keine für den CP-Effekt nutzbare Kanaloberfläche mehr vorhanden. Aus der Abbildung 2 in [76] ist abzulesen, daß ist. Bei der Abbildung 2 in [76] fehlt die Angabe der Meßfrequenzen, weswegen von einer Wiedergabe dieser gemessenen Kurven in Abbildung 4.5 Abstand genommen wurde. Mit dem in MINIMOS vorhandenen elementaren Prozeß-Simulator wurde ein Dotierungsprofil entworfen, das auf soeben besprochene Weise eine effektive Gate-Länge von ergibt und dessen Parameter in der Tabelle 4.2 zusammengefaßt sind. Die mit diesem Profil simulierten CP-Ströme gemäß Abbildung 2 in [76] sind in der Abbildung 4.5 dargestellt.
Abbildung: in Abhängigkeit der geometrischen Frontgate-Länge
für verschiedene Meßfrequenzen . Der Schnittpunkt
der Kurven mit der x-Achse bei = definiert
die effektive Kanallänge =.
Tabelle: MINIMOS Dotierungsprofil-Parameter der Dünnfilm SOI -Diode.
Zur Nomenklatur dieser Parameter siehe [95].