In diesem Abschnitt wird gezeigt, wie eine Reihe von
Bauelement-Parametern aus den Meßergebnissen von
CP-Experimenten gewonnen werden kann
(siehe Tabelle 4.1).
Diese Parameter sind im wesentlichen die
für das CP-Signal effektive Kanallänge
(, Abschnitt 4.3.1), die durch das
Source/Drain-Profil bestimmt wird,
die Dichte der Grenzflächen-Störstellen am
Front- und Backinterface (, Abschnitt 4.3.2),
die mittleren Einfangquerschnitte
(, Abschnitt 4.3.2)
und die Verteilung der Störstellen in Teilen des verbotenen
Bandes (Abschnitt 4.3.3).
Über verschiedene Parameter sind keine genauen Daten vorhanden.
So ist für die Oxiddicke des Frontgate-Oxides
in [76] der Bereich abgegeben.
In solchen Fällen werden entsprechende Schätzwerte
angenommen, z.B. im gegenständlichen Fall
der Wert =. Ebenso ist die
Substratdotierung ein grober Schätzwert.
Auf Details weiterer Parameter wird in den folgenden
Abschnitten eingegangen.
Tabelle: Eingabeparameter zur Simulation der Dünnfilm SOI -Diode.