Für die mit Hilfe der Monte-Carlo-Methode berechnete Stromdichte, Teilchenkonzentration und Driftgeschwindigkeit gilt die Beziehung
Nun wäre es prinzipiell möglich, diese Gleichung in den Halbleitergleichungen zu verwenden, indem man die Geschwindigkeit , die aus einer Monte-Carlo-Rechnung stammen soll, als konstant annimmt, während man die Kontinuitätsgleichung nach löst. Der Nachteil dabei wäre, daß nach jeder Iteration zwischen Kontinuitäts- und Poissongleichung immer auch eine Monte-Carlo-Rechnung durchgeführt werden müßte, um für das jeweils neue Feld die zugehörige Driftgeschwindigkeit zu ermitteln. Es erscheint daher sinnvoll, die Gleichung 6.1 in die Form einer Drift-Diffusionsgleichung zu bringen, da erwartet werden kann, daß die darin vorkommenden Koeffizienten weniger stark vom Feld abhängen als die Geschwindigkeit. In diesem Fall müssen die Koeffizienten nicht nach jeder Iteration zwischen Kontinuitäts- und Poissongleichung neu berechnet werden, sodaß sich die Anzahl der erforderlichen Monte-Carlo-Durchläufe verringert.