Es wurden zwei HFETs untersucht. Ein homogen dotierter pseudomorpher HFET mit Einfachbarrierenstruktur (HFET-1, s. Abb. 7.1) und ein deltadotierter pseudomorpher HFET mit Doppelbarrierenstruktur (HFET-2, s. Abb. 7.5).
Abbildung 7.5: Schematischer Aufbau eines deltadotierten
pseudomorphen HFETs mit Doppelbarrierenstruktur. Die Deltadotierung
besitzt eine aktive Dotierstoffkonzentration von
. Die Rückseitendotierung besitzt
eine Schichtdicke von 
und eine aktive
Dotierstoffkonzentration von 
.