Für die analytische Beschreibung des Implantationsprofiles werden Verteilungsfunktionen [Gib68], [Fur72], [Gib73], [Hof75b] verwendet. Es wird ein bestimmter Funktionstyp für die Verteilungsfunktion angenommen, ihre freien Parameter werden dann entweder aus Momenten oder analytischen Funktionen berechnet, aus theoretischen Überlegungen gewonnen oder an Experimente angepaßt [Jah81], [Rys81], [Tas89], [Par90]. Sehr oft werden die räumlichen Momente der Verteilungsfunktionen verwendet, die ebenfalls an Experimente angepaßt oder aus Berechnungen mittels einer der mehr physikalisch motivierten Berechnungsmethoden zum Beispiel nach Abschnitt 1.2.2, Abschnitt 1.2.3 oder Abschnitt 1.2.4 bestimmt werden können. Die Momente haben aber auch eine anschauliche Bedeutung: So ist zum Beispiel das erste Moment gleich der mittleren Eindringtiefe der Ionen in das Target.
Die Verwendung der räumlichen Momente hat auch historische Wurzeln, weil die in Abschnitt 1.2.2 vorgestellte LSS-Thorie, die den ersten Versuch darstellt, Implantationsprofile zu berechnen, ja auch Momente als Ergebnis liefert. In [Hob87a] wird gezeigt, wie diese Parameter aus Monte-Carlo Simulationen gewonnen werden können.