3.11 Der <i>Charge Pumping</i> Effekt



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3.11 Der Charge Pumping Effekt

 

  
Abbildung: Löcher-Rekombinationsströme für donator- (oberes Bild) und akzeptorartige (unteres Bild) Grenzflächen-Störstellen verschiedener Dichte. Mit steigender Dichte ist die Verschiebung des Einsatzpunktes der Rekombination negativ für die donatorartigen, positiv für die akzeptorartigen Störstellen.

  
Abbildung: Kanal- und -Übergangskomponenten sowie Summe des Löcher-Rekombinationsstromes für = akzeptorartiger Störstellen.

Am Ende der fallenden Gate-Spannungsrampe werden die Emissionsprozesse durch die Löcher, die nunmehr aus dem Substrat an die Grenzfläche gelangen, stark beeinflußt: Ein Teil der eingefangenen Elektronen wird nicht ins Leitungsband emittiert, sondern rekombiniert mit Löchern. Dieser Umladeverzug bewirkt, daß negative Ladung über den Umweg der Störstellen zum Substratkontakt gelangt. Ist eine Sperrspannung an den -Übergängen angelegt, vollzieht sich dieser Transport gegen diese Potentialbarriere, wodurch negative Ladung von Source und Drain zum Substratkontakt ,,gepumpt`` wird (Charge-Pumping-Effekt [11]). Dieser Strom ist dem Leckstrom der gesperrten Source/Drain-Dioden entgegengerichtet. Analog zum vorhergehenden Abschnitt soll nun der Verlauf des Löcher-Rekombinationsstroms durch transiente Simulationen analysiert werden. Erwartungsgemäß treten auch hier laterale Effekte auf.
Die angelegte Rampe der Gate-Spannung (Amplitude =) erreicht eine negatives Niveau von , welches ausreicht, die Kanaloberfläche stark mit Löchern zu akkumulieren. Dadurch wird ein Großteil der in Störstellen noch haftende Elektronen entladen. Die Flachbandspannungen liegen für den Fall donatorartiger Störstellen bei ,, und , für die akzeptorartigen Störstellen bei ,, und für Störstellendichten von , , und . Es ist deutlich zu sehen, daß für die Störstellendichten von der Zeitpunkt maximaler Rekombination gut mit dem Überstreichen der Flachbandspannung übereinstimmt. Analog zu den Emissionsströmen existiert eine Verschiebung des Einsatzpunktes der Rekombination in Abhängigkeit des Störstellentyps. Der Betrag der Verschiebung entspricht grob der in der unteren Hälfte des verbotenen Bandes in den Störstellen haftenden Elektronenladung . Für die sehr hohe Störstellendichte von ist die Form der Kurven deutlich verzerrt. Die Kurven weisen eine Verformung in Richtung einer niedrigeren Flachbandspannung auf. Dieser Effekt kommt vermutlich durch eine stärkere Wechselwirkung mit der Elektronen-Emission zustande.
Wird bei festem oberen Gate-Spannungsniveau die Gate-Spannungsamplitude verkleinert, verringert sich in Abhängigkeit davon die Löcherkonzentration in den -Übergängen. Die dort noch haftenden Elektronen werden dann nicht umgeladen (siehe Abbildung 3.3). Erreicht die Gate-Spannung ihr negatives Niveau, wird das Vordringen der Löcher in die Depletionszone abrupt gestoppt, sodaß die Rekombination dort verschwindet. Das ist durch den Sprung der Rekombinationsströme bei = zu erkennen. In der Abbildung 3.5 wurde analog zur Abbildung 3.3 eine Aufspaltung in den Kanalbereich und in einen Bereich der -Übergänge vorgenommen. Die Aufteilungsgrenzen liegen an den metallurgischen Übergängen. Ein Teil der Depletionszone ist demgemäß dem als Kanal bezeichnetem Gebiet zuzurechnen, weswegen ein Teil des Sperrschichtstromes auch in der Kanalkomponente erkenntlich ist.



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Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994