D I S S E R T A T I O N
Topography Simulation of
Deposition and Etching Processes
ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien,
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, von
ALIREZA SHEIKHOLESLAMI
Neilreichgasse 23/14-15
A-1100 Wien
Matrikelnummer 9825631
geboren am 17. September 1971 in Babol, Iran