In diesem Abschnitt sollen einige Ergebnisse von Simulationen unter Benützung der analytischen Methode gezeigt werden. Weiters werden Vergleiche zu Monte-Carlo Resultaten gebracht. Anhand von diesen Vergleichen können auch die Grenzen der Anwendbarkeit der analytischen Methode gesehen werden.
Drei Beispiele werden diskutiert: In
Abschnitt 3.5.1 werden die Ergebnisse für
ein planares Substrat mit einer Oxyd-Maske gezeigt. Bei dieser
Anwendung wird das Implantationsprofil vom analytischen Simulator
eigentlich relativ gut vorhergesagt, obwohl sich gewisse Abweichungen
zu den Monte-Carlo Ergebnissen zeigen. In
Abschnitt 3.5.2 sind Resultate der
Simulation einer Implantation in einen Trench zu sehen. Dort zeigt
sich, daß sogar für eine idealiserte Trenchstruktur das
Dotierungssprofil mit der analytischen Methode nicht mehr korrekt
vorhergesagt werden kann. Schließlich wird noch in
Abschnitt 3.5.3 ein Vergleich für eine
Implantation mit einem Winkel von 
gebracht. Auch dort
ergeben sich teilweise erhebliche Unterschiede in den Ergebnissen
zwischen der analytischen Berechnung und der Monte-Carlo Simulation.
In allen drei Beispielen wurden für die Simulation tiefenabhängige Momente verwendet, die aus Monte-Carlo Simulationen ermittelt wurden, um eine möglichst gute Übereinstimmung der analytischen Simulation mit den realen Dotierungsprofilen zu erhalten. Die auftretenden Abweichungen zu den Monte-Carlo Ergebnissen zeigen daher deutlich die Grenzen der Verwendbarkeit dieser Methode auf.