BISHER wurden neue Herstellungsprozesse für immer komplexer aufgebaute Bauelementstrukturen hauptsächlich von Prozeßingenieuren aufgrund ihrer Erfahrung entwickelt. Viele Testschaltungen waren notwendig, bis mit einem neuen Prozeß funktionierende Bauelemente produziert werden konnten. Inzwischen hat sich jedoch die Computer-Simulation der Herstellungsschritte bei der Entwicklung neuer Prozesse als wichtiges Hilfsmittel etabliert und erleichtert die Verifikation dieser neuen Herstellungsmethoden. Die früher benötigten zeitaufwendigen und teuren Experimente können damit auf ein Minimum reduziert werden, was eine nicht unerhebliche Zeit- und Geldersparnis bedeutet.
Die Entwicklung immer komplizierterer Strukturen und die zunehmende Miniaturisierung der Bauelemente erfordert eine vollständige dreidimensionale Simulation realistischer Geometrien. Zweidimensionale Simulatoren für moderne Bauelemente können häufig nicht mehr alle auftretenden Effekte mit der erforderlichen Genauigkeit vorhersagen.
Das Thema dieser Arbeit ist die Simulation der Ionen-Implantation mit speziellem Augenmerk auf dreidimensionale Strukturen. Um die natürlichen Gegebenheiten möglichst genau modellieren zu können, wurde die Monte-Carlo Methode als Basis gewählt. Leider ist die Monte-Carlo Methode sehr rechenzeitaufwendig. Daher wird von manchen Anwendern - vor allem wenn es mehr um die prinzipielle Form des Implantationsprofiles als um die richtige quantitative Beschreibung geht - für erste Ergebnisse bei einfachen Strukturen noch immer die analytische Methode für die Simulation der Ionen-Implantation verwendet. Deshalb wird auch diese Methode kurz behandelt und mit der Monte-Carlo Technik verglichen.