In Kapitel 2 werden die für die Ionen-Implantation benötigten Grundlagen dargelegt. In Kapitel 3 wird dann die analytische Ionen-Implantation besprochen. Eine Übersicht über die verschiedenen vertikalen und lateralen Verteilungsfunktionen, die bei dieser Simulationsmethode verwendet werden, wird gegeben. Eine Erweiterung auf zweidimensionale Strukturen wird besprochen. Anhand von Beispielen und Vergleichen mit der Monte-Carlo Methode werden schließlich die Grenzen der analytischen Ionen-Implantation aufgezeigt.
Kapitel 4 ist einem notwendigen Schritt für den Ausbau der auf den in Kapitel 2 besprochenen Grundlagen aufbauenden Simulation der Ionen-Implantation mittels der Monte-Carlo Methode auf dreidimensionale Strukturen gewidmet: dem Einbau einer automatischen Gittergeneration und -adaption. Das Kapitel 5 ist mit den für dreidimensionale Simulationen essentiellen Geometriefragen befaßt.
In Kapitel 6 werden noch einige Beispiele für Simulationen dreidimensionaler Strukturen mittels der Monte-Carlo Methode gegeben. Abschließend werden in Kapitel 6 Simulationen realistischer dreidimensionaler Strukturen demonstriert. Vergleiche zu zweidimensionalen Simulationen sowie die Kopplung mit einem Topographiesimulator werden präsentiert.
Eine Zusammenfassung und ein Ausblick auf zukünftige Verbesserungsmöglichkeiten werden in Kapitel 7 gegeben.