D I S S E R T A T I O N
Rigorous Integration of Semiconductor
Process and Device Simulators
ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von
Thomas BINDER
Hütteldorferstraße 52/14
Wien XV
Matrikelnummer 8826314
geboren am 4. Jänner 1969 in Bad-Ischl
Wien, im November 2002
2003-03-27