Abbildung: Geometrie, die
für den Vergleich des allgemeinen Modules für dreidimensionale
Strukturen mit dem Programm nach Abschnitt 6.2 für
spezielle Geometrien verwendet wird.
An dieser Stelle soll das Programm aus Abschnitt 6.2 für spezielle Trench-Strukturen mit dem allgemeinen Modul für dreidimensionale Geometrien nach Abschnitt 6.3 verglichen werden. Dieser Abschnitt ist der Verifikation der dreidimensionalen Ergebnisse gewidmet. Eine weitere Verifikationsmöglichkeit - durch den Vergleich von zwei- mit dreidimensionalen Simulationen - wird im nächsten Abschnitt noch näher eingegangen.
Diese Überprüfungsmöglichkeiten sind natürlich sehr wichtig, weil schon eindimensionale Messungen schwierig sind; dreidimensionale Meßergebnisse gibt es überhaupt nicht [Law93]. Daher sind also die einzigen wirklichen Testmöglichkeiten der Vergleich von zwei- und dreidimensionalen Simulationsergebnissen einerseits und der Vergleich verschiedener dreidimensionaler Module untereinander andererseits. Hier wird die Funktionsprobe mittels des Vergleiches zweier verschiedener dreidimensionaler Simulatoren durchgeführt.
Der Funktionstest liegt einfach darin, daß zweimal dasselbe Beispiel gerechnet wird, jedesmal mit einem anderen dreidimensionalen Programm. Anschließend werden die Ergebnisse verglichen. Diese müssen natürlich identisch sein. Hier werden für den Funktionstest das spezielle Programm nach Abschnitt 6.2 und das allgemeine Modul, das auf den in Kapitel 5 beschriebenen Geometrieabfragen (Octree) aufbaut, das bereits in Abschnitt 6.3 verwendet wurde, miteinander verglichen.
Die verwendete Geometrie ist in Abb. 6.12
gezeigt. Es wird Arsen mit einer Energie von 100 keV implantiert. Der
Einfachheit halber ist der Implantationswinkel 
. In den
folgenden Abbildungen -
Abb. 6.13 - 6.18 - sind
Resultate der beiden Simulationen zu sehen.
Die Ergebnisse sind - wie für eine korrekte Funktion der Simulationsprogramme zu erwarten war - praktisch identisch. In den Abb. 6.13 ist ein Querschnitt in der y/z-Ebene gezeigt, gerechnet mit dem speziellen Simulator, und in Abb. 6.14 ist das gleiche Ergebnis für das allgemeine Modul dargestellt. Analog sind in den Abbildungen 6.15 und 6.16 Schnitte in der x/z-Ebene und schließlich in den Abbildungen 6.17 und 6.18 Konturlinien für einen Querschnitt normal zur z-Achse immer zuerst für das spezielle und dann für das allgemeine Modul zu sehen.
Abbildung 6.13: Ergebnis des
speziellen Modules; Schnitt für konstantes x in der Mitte der
Struktur.
Abbildung 6.14: Ergebnis des
allgemeinen Modules (Octree); Schnitt für konstantes x in der Mitte
der Struktur.
Abbildung 6.15: Ergebnis des
speziellen Modules; Schnitt für konstantes y in der Mitte der
Struktur.
Abbildung 6.16: Ergebnis des
allgemeinen Modules (Octree); Schnitt für konstantes y in der Mitte
der Struktur.
Abbildung 6.17: Ergebnis des
speziellen Modules; Schnitt für konstantes z.
Abbildung 6.18: Ergebnis
allgemeines Modul (Octree); konstantes z.
Aufgrund dieser Ergebnisse kann geschlossen werden, daß beide Simulatoren - sowohl der, für spezielle Strukturen aus Abschnitt 6.2, als auch jener, der für allgemeine Strukturen geeignet ist (Kapitel 5 und Abschnitt 6.3) - prinzipiell funktionieren und quantitativ hinreichend identische Ergebnisse liefern. Die korrekte Funktion wird im nächsten Abschnitt 6.5 beim Vergleich mit zweidimensionalen Simulationen nachgewiesen.