DAS Viennese Integrated System for Technology-CAD Applictions (VISTA) ist ein CAD-System für die Integration und die Entwicklung von Prozeß- und Bauelementsimulationswerkzeugen. Es wird seit 1990 am Institut für Mikroelektronik der Technischen Universität Wien entwickelt. Die Hauptkomponenten sind in Abb. 2.1 dargestellt: Eine Datenebene aus einem definierten Datenformat und einer Applikationsschnittstelle, mehrere eingebundene Simulationswerkzeuge, eine Steuerungsebene aus einer interpretierten Erweiterungssprache mit Anbindung an alle Systemkomponenten und eine graphische Benutzeroberfläche.
Abbildung 2.1: Die Hauptkomponenten von VISTA.
Im Zuge des VISTA-Projekts sind bereits eine ganze Reihe von Publikationen entstanden: Das Gesamtsystem zum Inhalt haben [Sel91] [Fas91a] [Fas91b] [Sti92] und in besonderer Ausführlichkeit und Aktualität [Hal93]. Die Datenebene wird in [Fas91c] [Fason] behandelt, die Steuerungsebene in [Pim91a] [Pim91b] [Pic93a] [Pic93b] und die Benutzeroberfläche sowie Software-Aspekte in [Hal92]. Um als universitäres Forschungsprojekt den Kontakt zu potentiellen Anwendern herzustellen und Rückmeldungen aus der Industrie bereits in der Entwicklungsphase berücksichtigen zu können, sind erste Versionen von VISTA in den Forschungs- und Entwicklungslaboratorien mehrerer Halbleiterhersteller installiert. Beispielsweise wird in [Mas93] über die Anwendung von VISTA in der DRAM-Entwicklung (Dynamic Random-Access Memory) bei HITACHI berichtet.
In diesem Kapitel werden die Hauptkomponenten von VISTA überblicksmäßig besprochen. Die Wahl von LISP als Basis der Steuerungsebene und als Erweiterungssprache wird in Abschnitt 2.2 begründet, für die Detailbehandlung der Steuerungsebene (TCAD-Shell) sei auf das Kapitel 3 verwiesen. Ein Ausblick auf mögliche Erweiterungen von VISTA findet sich in Kapitel 2.