Gemeinsam mit dem jahrzehntelangen, ungebrochen andauernden Fortschritt der elektronischen Datenverarbeitung wurde auch die Simulation mittels Computermodellen in allen Disziplinen der Wissenschaft populär. Auch wenn eine solche Simulation nie eine Messung ersetzen kann, gibt es doch gute Gründe, die für den Einsatz von Simulationsprogrammen sprechen. Erstens sind die Kosten für eine Simulation, insbesondere im Bereich der Hochtechnologie, meist verschwindend klein gegenüber der Herstellung von Teststrukturen. Zweitens können aus Simulationen oft schnell Ergebnisse gewonnen werden. Es ist nicht einmal ein Prototyp erforderlich, um bereits in der Konzeptphase verschiedenste Parameter oder Ansätze auszuprobieren. Schließlich sind durch die Simulation auch Größen zugänglich, die sich einer Messung entziehen.
Insbesondere in der Halbleiterindustrie ist also der Bedarf nach Simulatoren eindeutig gegeben. Für diese Programme ist es wichtig, dass ihre Resultate durch Messungen verifiziert werden und die zugrundeliegenden Modelle stets verbessert und angepasst werden.