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Inhalt
Kurzfassung
Abstract
Danksagung
Verwendete Symbole
Mathematische Symbole
Physikalische Symbole - Konstanten
Physikalische Symbole - Operatoren
Physikalische Symbole
1. Grundlagen
1.1 Quantentheorie
1.2 Gitterperiodische Strukturen
1.3 Bloch-Funktionen
1.4 Energiespektrum der Ladungsträger
1.4.1 Methode des selbstkonsistenten Feldes
1.4.2 Bandstruktur aus numerischen Methoden
1.4.3 Effektive Massen und das Modell von Kane
1.5 Phononen
1.6 Numerische Lösung der Schrödinger-Gleichung
2. Schrödinger-Poisson-Solver
2.1 Schrödinger-Gleichung
2.1.1 Operator der kinetischen Energie
2.1.2 Separationsansatz für parabolische Bänder und konstante Masse
2.1.3 Basisfunktionen
2.1.4 Zusammenhang zwischen den Operatoren und
2.1.5 Subbanddispersionsrelation
2.2 MOS-Transistor
2.2.1 Talsorten
2.2.2 Subbandparameter für den MOS-Transistor
2.2.3 Schrödinger-Gleichung in Matrixform
2.2.4 Implementierung im Simulator
2.3 Erweiterung auf Heterostrukturen
2.3.1 Allgemeines
2.3.2 Matrixelemente des Operators der kinetischen Energie
2.4 Poisson-Gleichung
2.4.1 Dreidimensionale Ladungsträgerkonzentration
2.4.2 Zweidimensionale Ladungsträgerkonzentration
2.4.3 Diskretisierung der Poisson-Gleichung
2.4.4 Ableitung der Elektronendichte
2.5 Selbstkonsistente Lösung
2.5.1 Initialisierung
2.5.2 Anfangslösung
2.5.3 Schrödinger-Gleichung
2.5.4 Subbandparameter
2.5.5 Poisson-Gleichung
2.5.6 Nachbearbeitung
2.5.7 Randbedingungen
3. Auswertung
3.1 MOS-Struktur
3.1.1 Selbstkonsistente Lösung
3.1.2 Wellenfunktionen
3.1.3 Elektronenkonzentration
3.1.4 Subbandparameter
3.2 Kapazitätsberechnungen
3.2.1 Quantenmechanische Korrektur der klassischen Elektronendichte
3.2.2 Vergleich mit Messdaten
3.3 Heterostruktur
4. Transportberechnung
4.1 Boltzmann-Gleichung
4.2 Monte Carlo-Methode
4.2.1 Grundlagen
4.2.2 Freier Flug
4.2.3 Streuraten
4.2.4 Freie Flugzeit
4.3 Statistische Auswertung
5. Ausblick
A. Formeln
A.1 Störungsrechnung
A.2 Fermi-Funktionen
B. Simulator
B.1 Konzept
B.2 Datenaufzeichnung
B.3 Beispiel für die Skriptsprache
B.4 Verwaltung physikalischer Einheiten
B.4.1 Konzept
B.4.2 Parser
Literatur
Eigene Publikationen
Lebenslauf
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