Um beurteilen zu können, ob die Trajectory-Split Methode tatsächlich einen entscheidenden Vorteil bringt, müssen die Simulationsergebnisse einer strengen statistischen Analyse unterzogen werden.
Im Prinzip ist das Ziel einer Monte Carlo Simulation ein Histogramm, dessen Boxen
auf Grund von Zufallsereignissen mit Teilchen gefüllt sind. Sollen nun die
Parameter 
auch
nur ansatzweise optimiert werden, so ist der einzig gangbare Weg der, ein
möglichst einfaches aber trotzdem aussagekräftiges Simulationsbeispiel zu
wählen, da sich zeigte, daß fast 1.000 (!) Simulationen durchgeführt
werden müssen, um korrekte statistische Tendenzen zu erhalten.
Aus diesem Grunde wird eine zweidimensionale Punktantwort (,,Point response``) verwendet, denn nur hier erhält man bereits mit 5.000 simulierten Initialtrajektorien eine Verteilung, bei der eine Fehleranalyse sinnvoll erscheint. Würde man komplexe Simulationsgebiete mit größeren Implantationsfenstern verwenden, müßten pro Simulation rund 100.000 Initialteilchen berechnet werden, und eine Optimierung wäre selbst mit derzeitigen Hochleistungsrechnern unmöglich.
Jedoch wurde strikt darauf geachtet, daß die Implantationsdaten von
praktischer Relevanz sind. So wurde z.B. (100) Silizium und ein
Tilt-Winkel von 7
gewählt, da ersteres praktisch ausschließlich
verwendet wird, und letzterer sich als Standardwert durchgesetzt hat. Es
liegt auf der Hand, daß die Effizienz der neuen Strategie vor allem vom
Prozentsatz der kanalisierten Ionen abhängt. Der Beschleunigungseffekt
könnte noch erheblich gesteigert werden, wählte man z.B. (110) Silizium
und/oder einen Kippwinkel von 0.
Ausdrücklich soll darauf hingewiesen werden, daß bei der nachfolgenden Berechnung das statistische Rauschen der zu untersuchenden Dotierstoffverteilung (Ist-Verteilung) durch Vergleich mit einer Referenzverteilung bewertet wird. Da beide Profile mit den selben physikalischen Modellen berechnet werden, würden sich etwaige Abweichungen von z.B. SIMS Messungen aufheben. Durch die Analyse wird also tatsächlich der Einfluß der Trajectory-Split Methode auf die Statistik der Dotierstoffkonzentration untersucht.