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Trajectory-Split

Methode   Durch die Verfügbarkeit von TCAD Tools [Axe93, Car93, Neu93, Pic93a, Pic93b] sind Prozeßingenieure heute in der Lage, Herstellungsschritte eines IC s computerunterstützt zu optimieren. Das hat jedoch zur Folge, daß Berechnungen mehrmals erfolgen müssen und dementsprechend wird die Rechenzeit für einen Simulationslauf zu einem immer zentraleren Thema.

Dieses Kapitel befaßt sich ausschließlich mit einem neu entwickelten Algorithmus, der die konventionelle Vorgehensweise aus Kapitel 3.1 soweit verbessert, daß die Rechenzeiteffizienz je nach Anwendungsbeispiel um den Faktor zwei bis sieben steigt, ohne die physikalische Relevanz der Modelle zu beeinträchtigen. Nachfolgend wird immer davon ausgegangen, daß Modelle für kristalline Materialien verwendet werden.

Um die benötigte CPU Zeit einer Simulation zu reduzieren, stehen unter anderem folgende Möglichkeiten zur Verfügung:

des Algorithmus. Obwohl natürlich die Parallelisierung und damit die mögliche Verwendung mehrerer Computer ein sehr hohes Optimierungspotential aufweist, soll dieser Weg zukünftigen Arbeiten vorbehalten sein.





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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996