D I S S E R T A T I O N

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
unter der Leitung von

Ao.Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.techn. Tibor GRASSER

Institut für Mikroelektronik

eingereicht an der Technischen Universität Wien

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

von

Dipl.-Ing. Bianka ULLMANN

0425601 / E 786 710