In dieser Arbeit wird speziell auf die Kapazitätsberechnung dreidimensionaler Verdrahtungsstrukturen mit der Methode der finiten Elemente eingegangen. Da aber das entwickelte Programmpaket sowohl dreidimensionale als auch zweidimensionale Berechnungen zuläßt, werden auch die Ergebnisse von Ableitungen für den zweidimensionalen Fall angegeben.
Die Ableitungen für zweidimensionale Strukturen lassen sich in analoger Weise zum dreidimensionalen Fall bilden, oder sie können z.B. [Zie89][Sch91b][Hue75][Haa92] entnommen werden.