D I S S E R T A T I O N
On the Role of Hydrogen in
Silicon Device Degradation
and Metalization Processing
ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik von
Mag. Thomas Aichinger
Die Dissertation wurde betreut von Prof. Tibor Grasser (TU Wien) und Dr. Michael Nelhiebel (Infineon Technologies Austria) und ausgeführt am
Kompetenzzentrum für Automobil- und Industrie-Elektronik (KAI)
Europastrasse 8
A-9524 Villach
Villach, am 13. August 2010
Ich erkläre hiermit an Eides statt, dass ich die vorliegende Arbeit selbständig sowie ohne unzulässige Hilfe Dritter und ohne Benutzung anderer als der angegebenen Hilfsmittel angefertigt habe. Die aus anderen Quellen direkt oder indirekt übernommenen Daten und Konzepte sind unter Angabe der Quelle gekennzeichnet.
Villach, am 13. August 2010