D I S S E R T A T I O N


Engineering Gate Stacks for
Field-Effect Transistors


ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften


eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von

THOMAS WINDBACHER

Dietrichgasse 12b/1
2700 Wr. Neustadt, Österreich

Matr. Nr. 9925579
geboren am 24. November 1979 in Mödling

Wien, im Juni 2010