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D I S S E R T A T I O N
Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen
auf Integrierten Schaltungen
ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik
von
Rainer Sabelka
Gudrunstrasse 137/5/29
Wien XI.
Matrikelnummer 8825514
geboren am 1. März 1969 in Wien
Wien, im Februar 2001
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R. Sabelka: Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen auf Integrierten Schaltungen